광전지 LPCVD 석영 보트 세라믹 흡입 컵

LPCVD 캔틸레버 보트세라믹 진공 흡입 컵반도체 광전지 산업에서 박막 제조에 주로 사용됩니다. 예를 들어, 확산 로더 및 언로더, 캔틸레버 보트는 확산 로더의 핵심 구성 요소이며 확산 전후에 실리콘 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 데 주로 사용됩니다.

정밀한 내마모성과 높은 내구성을 사용하는 캔틸레버 보트 또는 선적 및 하역 부품 -내열성 세라믹 구조 로봇 팔은 일반적으로 50개의 진공 흡입 컵으로 구성되며 한 번에 50개의 실리콘 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. 세라믹 구조의 캔틸레버 보트는 변형이 없고 오염이 없으며 유지 관리가 용이하다는 장점이 있습니다. 캔틸레버 보트는 진공 흡입 컵의 흡입과 실리콘 웨이퍼의 무게에 의존하여 연착륙 방식으로 실리콘 웨이퍼를 로드 및 언로드하므로 차량의 조각화 속도와 정확도 요구 사항을 크게 줄일 수 있습니다. 진공흡착컵 1개의 오차는 0.005mm 이내로 제어할 수 있으며, 50개를 쌓을 때의 오차는 0.2mm를 초과하지 않습니다..

LPCVD 석영 보트, 확산 석영 보트, 지르코니아 캐리어 보트가 주로 사용됩니다. 반도체 광전지 산업용 박막의 생산. LPCVD(저압 화학 기상 증착) 공정에서 석영 보트는 반응 챔버에 있는 실리콘 웨이퍼의 캐리어입니다.

밍루이 도자기제작세라믹 석영 보트 트레이 및 흡입 컵은 Precision을 사용합니다. 내마모성 및 내열성 지르코니아 세라믹 재료는 현재 주로 4.76과 2.38의 두 가지 피치로 구분됩니다. 지르코니아 석영 보트는 강도가 높고 변형이 쉽지 않습니다. 확산 과정에서 보트에 달라붙어 일반 석영 보트보다 유지 관리가 더 쉽습니다.